泰克Keithley 2650 系列高功率 SourceMeter? SMU 儀器2650 系列大功率 SourceMeter SMU 儀器專為高電壓/電流電子產(chǎn)品和功率半導(dǎo)體元件（例如二極管、FET 和 IGBT、高亮度 LED、直流至直流轉(zhuǎn)換器、電池、太陽能電池及其他高功率材料、組件、模塊和部件）的檢定和測試而設(shè)計。 它們提供前所未有的功率、精度、速度、靈活性和易用性，可提高研發(fā)、生產(chǎn)測試和可
泰克Keithley 2650 系列高功率 SourceMeter? SMU 儀器
2650 系列大功率 SourceMeter SMU 儀器專為高電壓/電流電子產(chǎn)品和功率半導(dǎo)體元件（例如二極管、FET 和 IGBT、高亮度 LED、直流至直流轉(zhuǎn)換器、電池、太陽能電池及其他高功率材料、組件、模塊和部件）的檢定和測試而設(shè)計。 它們提供前所未有的功率、精度、速度、靈活性和易用性，可提高研發(fā)、生產(chǎn)測試和可靠性環(huán)境中的效率。 有兩種儀器可用，提供高達 3000V 或高達 2000W 的脈沖電流功率。
特點 | 優(yōu)勢 |
| 高度靈活的四象限電壓和電流源/負載，與高精度電壓表和電流表相耦合 | 提供相比同類產(chǎn)品頗具優(yōu)勢的性能，具有 6? 位分辨率。 ? |
| 源或阱 (2651A) 脈沖功率高達 2000W（±40V、±50A），或直流電源高達 200W（±10V@±20A、±20V@±10A、±40V@±5A）；輕松連接兩個器件（串聯(lián)或并聯(lián)）創(chuàng)建高達 ±100A 或 ±80V 的解決方案 | 支持功率半導(dǎo)體、HBLED、光學(xué)設(shè)備、太陽能電池、GaN、SiC 和其他復(fù)合材料與設(shè)備的檢定/測試。應(yīng)用范圍包括半導(dǎo)體接點溫度檢定；高速、高精度數(shù)字化；電遷移研究；以及高電流、高功率設(shè)備測試。 |
| 源或阱 (2657A) 直流或脈沖功率高達 180W（±3000V@20mA、±1500V@120mA） | 提供功率半導(dǎo)體器件檢定和測試所需的高壓，包括 GaN、SiC 及其他復(fù)合材料和器件、高達 3kV 的故障和漏電測試以及亞毫秒瞬態(tài)檢定。 |
| 內(nèi)置基于網(wǎng)絡(luò)瀏覽器的軟件 | 支持通過任何瀏覽器、任何計算機、從全球任何地方進行遠程控制。 |
| 有數(shù)字化或積分測量模式可供選擇 | 支持精確檢定瞬態(tài)和穩(wěn)態(tài)行為，包括快速變化的熱效應(yīng)。 |
| TSP（測試腳本處理）技術(shù) | 可以與 2657A 型與 2600B 系列型號輕松地進行系統(tǒng)集成。 |
| TSP-Link 通道擴展總線 | 讓多臺 2651A 和 2657A 與所選 2600B 系列 SMU 儀器組合成多達 32 條通道的集成系統(tǒng)。 |
| 兼容于 8010 型高功率設(shè)備測試夾具和 8020 型高功率接口面板 | 為封裝部件或晶片級高功率設(shè)備測試提供安全而方便的連接。 |
| 免費的測試腳本構(gòu)建器軟件工具 | 幫助您創(chuàng)建、修改、調(diào)試和存儲 TSP 測試腳本。 |
| 選配的 ACS 基礎(chǔ)半導(dǎo)體元器件檢定軟件 | 開發(fā)、質(zhì)量檢驗或故障分析期間執(zhí)行封裝部件檢定時，較大限度地提高工作效率。 |
大功率2651A 型數(shù)字源表進一步豐富了2600A 系列產(chǎn)品。該源表專門針對大功率電子器 件的特性分析和測試而優(yōu)化設(shè)計，可幫助用戶在研發(fā)、可靠性及生產(chǎn)領(lǐng)域提高生產(chǎn)力，包 括高亮度LED、功率半導(dǎo)體、DC/DC 轉(zhuǎn)換器、電池，以及其他大功率材料、元件、模塊 和組件的特性分析和測試。
與2600A 系列產(chǎn)品的每個成員一樣，2651A 具有高靈活性、四象限電壓和電流源/負載， 組合了精密電壓和電流表。該源表可作為：
? 半導(dǎo)體特征分析儀
? 電壓或電流波形發(fā)生器
? 電壓或電流脈沖發(fā)生器
? 精密電源
? 真電流源
? 數(shù)字多用表(直流電壓，直流電流，電阻和功率，分辨率達5?位)
? 精密電子負載
2651A 型可輸出或吸入高達±40V 和50A。
? 源或阱：
- 2,000W脈沖功率(±40V，±50A);
- 200W直流功率(±10V@±20A、±20V@±10A、±40V@±5A)
? 方便地連接兩個單元(串聯(lián)或并聯(lián))形成±100A 或±80V 解決方案
? 1pA 分辨率，可精密測量極低的漏電流
? 1μs/點(1MHz)，連續(xù)18 位A/O 轉(zhuǎn)換器，精確的瞬態(tài)特性分析
? 1%至100%脈沖占空比，適用于脈寬調(diào)制(PWM)驅(qū)動型器件和特殊驅(qū)動類型期間的激勵
? 組合了精密電壓源、電流源、數(shù)字多用表、任意波形發(fā)生器、電壓或電流脈沖發(fā)生器及測量、電子負載及觸發(fā)控制器——多功能一體的儀器
? 包括TSP?Express 特性分析軟件、LabVIEW?驅(qū)動，以及吉時利的Test Script Builder(測試腳本編輯器)軟件開關(guān)環(huán)境。
? 功率半導(dǎo)體、HBLED 和光器件特性分析和測試
? GaN、SIC 及其他復(fù)合材料和
器件的特性分析
? 半導(dǎo)體結(jié)溫度特性分析
? 高速、高精度數(shù)字化
? 電遷移研究
? 大電流、大功率器件測試
2651A 型有兩種測量模式可對瞬態(tài)和穩(wěn)態(tài)行為進行精密地特性分析，包括快速變化的熱 效應(yīng)。每種模式均由其獨立的模/數(shù)(A/D)轉(zhuǎn)換器定義。
在數(shù)字化測量模式下，連續(xù)進行1μs/點采樣，每秒可捕獲1,000,000 個讀數(shù)。其18 位 A/D 轉(zhuǎn)換器使用戶能夠精密測量瞬態(tài)特性。對于更準確的測量，可利用基于22 位A/D 轉(zhuǎn) 換器的積分測量模式。全部2600A 系列儀器均具有積分測量模式。
每種測量模式下使用兩個A/D 轉(zhuǎn)換器(一個 用于電流，另一個用于電壓)，可同時運行 用于準確源讀回，不會影響測試效率。
雙數(shù)字化A/D 轉(zhuǎn)換器以高達1μs/點速率進行連 續(xù)采樣，同時對電流和電壓波形進行特性分析。
2651A 型能夠準確輸出和測量短至100μs 的脈沖，將測試期間的自熱效應(yīng)影響降至 最低。更大的控制靈活性使用戶能夠在 100μs 至DC 范圍內(nèi)編程脈寬，在1%至 100%范圍內(nèi)編程占空比。單臺儀器可輸出 高達50A 電流脈沖，兩臺組合可輸出高達 100A 電流脈沖。
利用TSP-Link?，可將多臺2651A 和其 他2600A 系列儀器組合在一起，形成最 多64 路通道的更大集成系統(tǒng)。利用內(nèi)置 500ns 觸發(fā)控制器，確保精密定時和嚴 格通道同步。源表儀器的完全隔離、獨 立通道確保了真正的SMU-per-pin 測試。
吉時利的TSP 和TSP-Link 技術(shù)確保實現(xiàn)真 正的SMU-per-pin 測試，不存在基于主機系 統(tǒng)的功率和/或通道限制。
此外，兩臺2651A 型采用TSP-Link 并 聯(lián)時，電流量程從50A 擴展至100A。 當(dāng)兩個單元串聯(lián)時，電壓范圍從40V 擴 展至80V。內(nèi)置智能特性使多個單元可 作為單臺儀器進行尋址，簡化了測試， 由此形成業(yè)內(nèi)最佳的動態(tài)范圍(100A 至 1pA)。這種能力確保用戶可測試各種各 樣的功率半導(dǎo)體和其他器件。
高達50A (2 個單元可達100A)的精密測量確 保更完善和準確的特性分析。
1μV 測量分辨率和高達50A (2 個單元可達 100A)的電流源輸出確保低電平Rds 測量，支 持新一代器件。
每款2651A 均具備其他2600A 系列儀器 提供的全部特性和能力，包括：
? 既可作為臺式I-V 特性分析工具，又可 作為多通道I-V 測試系統(tǒng)的組成部分。
? 無需編程或安裝，TSP Express 軟件 即可快速、簡便地執(zhí)行常見的I-V 測試。
? ACS 基本版軟件，用于半導(dǎo)體元器件 特性分析(選件)。ACS 基本版軟件現(xiàn) 在具備一種Trace 模式，用于產(chǎn)生一 套特性曲線。
? 吉時利的TSP?(測試腳本處理器)軟件， 能夠創(chuàng)建用戶自定義測試腳本，實現(xiàn) 自動化程度更高的測試，并且支持創(chuàng) 建編程序列，使儀器在沒有PC 直接控 制的情況下異步工作。
? 多臺2600A 系列儀器連接在一個系統(tǒng) 中，實現(xiàn)并行測試和精密定時。
? 符合LXI class C 標準。
? 14 位I/O 線，與探針臺、元件裝卸裝 置或其他自動化工具直接交互。
? USB 端口，利用USB 存儲裝置實現(xiàn)更 大的數(shù)據(jù)和程序存儲空間。
| 源 | ? 測量 | ||||
量程 | 編程分辨率 | 準確度±(% 讀數(shù)電流) | 顯示分辨率 | 積分ADC 準確度±(% 讀數(shù)+電壓) | 高速ADC 準確度±(% 讀數(shù)+電壓) |
100.000 mV | 5 μV | 0.02% + 500 μV | 1 μV | 0.015% + 300 μV | 0.015% + 600 μV |
1.00000 V | 50 μV | 0.02% + 500 μV | 10 μV | 0.015% + 300 μV | 0.015% + 600 μV |
10.0000 V | 500 μV | 0.02% + 5 mV | 100 μV | 0.015% + 3 mV | 0.015% + 8 mV |
20.0000 V | 500 μV | 0.02% + 5 mV | 100 μV | 0.015% + 3 mV | 0.015% + 8 mV |
40.0000 V | 500 μV | 0.02% + 12 mV | 100 μV | 0.015% + 8 mV | 0.015% + 15 mV |
噪聲(10Hz–20MHz)：<100mV 峰-峰值(典型 值)，<30mV RMS (典型值)。
過沖：電壓：<±(0.1% + 10mV)(典型值)。
電流：<±0.1%(典型值)。
遠端檢測工作范圍：
HI 和SENSE HI 之間的最大電壓 = 3V。
LO 和SENSE LO 之間的最大電壓 = 3V。
電壓源輸出建立時間：<50μs 最佳量程。
電流源輸出建立時間：<80μs 最佳量程。
每路源引線的最大阻抗：最大阻抗受限于遠端
檢測工作范圍的3V 壓降。
最大電阻 = 3V/源電流值(A)。
3V = L di/dt。
最大負載阻抗：
常規(guī)模式：10nF(典型值)，3μH(典型值)。
大電容模式：50μF(典型值)，3μH(典型值)。
測量輸入阻抗：>10GΩ。
共模電壓：250 VDC。
接觸檢查：內(nèi)置。
| 電壓 | 電流 |
| 202 W，最大 | 202 W，最大 |
| ±10.1 V @ ±20.0 A | ± 5.05 A @ ± 40 V |
| ±20.2 V @ ±10.0 A | ± 10.1 A @ ± 20 V |
| ±40.4 V @ ± 5.0 A | ± 20.2 A @ ± 10 V |
| 四象限輸出或吸入操作。 | 四象限輸出或吸入操作。 |
電流和電壓量程擴展：兩臺2651A 可通過串聯(lián)或并聯(lián)擴展某些應(yīng)用下的工作量程和功率性能。請參見網(wǎng)站www.tek.com.cn 的應(yīng)用指南。
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有源負載操作：注意：當(dāng)2651A 配合另一臺系統(tǒng)源表儀器或其他任何有源負載工作時，需要將2651A 的輸出關(guān)閉 模式設(shè)置為“OUTPUT_ACTIVE_LOAD”。更多詳細信息請參考2651A 的參考手冊。
最小可編程脈寬：100μs。 脈寬編程分辨率：1μs。 從脈沖起點至關(guān)閉時間起點測得：
| 電流量程 | 負載電阻 | 上升時間(典型值) |
| 50 A | 0.05 Ω | 25 μs |
| 50 A | 0.2 Ω | 57 μs |
| 50 A | 0.4 Ω | 85 μs |
| 20 A | 0.5 Ω | 90 μs |
| 50 A | 0.8 Ω | 120 μs |
| 20 A | 1 Ω | 180 μs |
| 10 A | 2 Ω | 330 μs |
| 5 A | 8 Ω | 400 μs |
占空比：1%–100%
| A/D?轉(zhuǎn)換器速 度 | (操作/秒)，6 | 0Hz (50Hz)：? 用戶腳本測量至 存儲器 | ? 用戶腳本測量至 | ? 用戶腳本源測量至 | ? 用戶腳本源測量 | ? 掃描?API?源測量 | ? 掃描?API?源測量 |
| 0.001 NPLC | 內(nèi)部 | 20000 (20000) | 10000 (10000) | 7000 (7000) | 6200 (6200) | 12000 (12000) | 5900 (5900) |
| 0.001 NPLC | 數(shù)字 I/O | 8100 (8100) | 7100 (7100) | 5500 (5500) | 5100 (5100) | 11200 (11200) | 5700 (5700) |
| 0.1 NPLC | 內(nèi)部 | 580 (480) | 560 (470) | 550 (465) | 550 (460) | 560 (470) | 545 (460) |
| 1.0 NPLC | 內(nèi)部 | 59 (49) | 59 (49) | 59 (49) | 59 (49) | 59 (49) | 59 (49) |
HS ADC | 內(nèi)部 | 38500 (38500) | 20000 (20000) | 10000 (10000) | 9500 (9500) | 14300 (14300) | 6300 (6300) |
A/D?轉(zhuǎn)換器速度 | 觸發(fā)源 | 測量至?GPIB | 源輸出測量至? | 源輸出測量合格/不合格? |
| 0.001 NPLC | 內(nèi)部 | 1900 (1800) | 1400 (1400) | 1400 (1400) |
| 1.0 NPLC | 內(nèi)部 | 58 (48) | 57 (48) | 57 (48) |
最大測量量程變化：143 μs
最大源量程變化：2.5 ms
最大源功能量程變化：1.0 ms
| 脈沖串長度(讀數(shù)) | 讀數(shù)/s | 脈沖串/s |
100 | 1M | 400 |
500 | 1M | 80 |
1000 | 1M | 40 |
2500 | 1M | 16 |
| 5000 | 1M | 8 |
觸發(fā)：觸發(fā)輸入至觸發(fā)輸出：0.5μs，典型值。
同步：單或多節(jié)點同步源變化：<0.5μs，典型值。
測試腳本編輯器(TSB)：集成開發(fā)環(huán)境，用于創(chuàng)建、運行和管理TSP 腳本。
TSP Express(嵌入式)：無需編程或安裝，即可快速、簡便地執(zhí)行常見的IV 測試。
其他軟件接口：TSP Express(嵌入式)、Direct GPIB/VISA、Read/Write， 利用VB、VC/C++、VC#、LabVIEW、LabWindows/CVI 等讀/寫。
利用TSP-Link 擴展接口，使支持TSP 的儀器之間能夠進行觸發(fā)和通信。
USB：USB 2.1 主機控制器，支持外部數(shù)據(jù)存儲。
接觸檢查：1ms 最小測量時間；5%基本準確度。
PC 接口：IEEE-488.1 和.2；LXI Class C Ethernet；RS-232。
數(shù)字I/O 接口：輸入/輸出引腳：14 位 I/O。最大5.25V。
電源：100 V 至250 VAC，50 Hz – 60 Hz(自動檢測)，最大550 VA
制冷：強制風(fēng)冷。側(cè)面和頂部吸入，后背板排出。
EMC：符合歐盟EMC 指令。
安全：UL 認證，符合UL61010-1:2004 標準符合歐盟低電壓指令。
質(zhì)保：1 年。
尺寸：89mm 高× 435mm 寬× 549mm 深(3.5 in × 17.1 in × 21.6 in)。臺式配置(含把 手和支腳)：104mm 高× 483mm 寬× 620mm 深(4.1 in × 19 in × 24.4 in)
重量：9.98kg (22 lbs).
環(huán)境：僅限室內(nèi)使用。
校準周期：1 年。
2657A是一種高電壓、高功率、低電流源測量單元（SMU），具有迄今為止最高的功率、 精度、速度、靈活性和易用性，能夠大大提高研發(fā)、生產(chǎn)測試和可靠性環(huán)境的測試效 率。2657A是專門針對高壓電子和功率半導(dǎo)體器件的特征分析與測試而設(shè)計的，例如 二極管、FET和IGBT，以及其它一些需要高電壓、快速響應(yīng)和精確測量電壓和電流的元 件和材料。2657A是吉時利功率半導(dǎo)體特征分析和測試解決方案的2600A系列產(chǎn)品，具 有業(yè)界最高的功率和最佳的低電流性能。這些用戶可配置的解決方案采用了業(yè)界最 強大的參數(shù)式特征分析軟件平臺，能夠隨著用戶應(yīng)用的發(fā)展進行升級。
2657A與其它2600A系列數(shù)字源表一樣，具有高度靈活的四象限電壓和電流源/負載， 并配置了精密電壓和電流計。它可以用作：
? 半導(dǎo)體特征分析儀
? 電壓或電流波形發(fā)生器
? 電壓或電流脈沖發(fā)生器
? 支持電壓和電流讀回的精密電源
? 真電流源
? 數(shù)字萬用表（DCV、DCI、歐姆 和六位半分辨率電源）
? 精密電子負載
2657A能夠提供或吸收高達3000V@20mA或1500V@120mA的電源
? 提供或吸收高達180W的直流或脈沖電 源（±3000V@20mA，±1500V@120mA）
? 1fA低電流分辨率
? 用于高精度和高速瞬態(tài)捕獲的雙22位 精度ADC和每點雙18位1μs數(shù)字轉(zhuǎn)換器
? 易于與其它2600A數(shù)字源表進行系統(tǒng)集 成的全TSP?兼容能力
? 單臺儀器內(nèi)集成了精密電源、電流 源、DMM、任意波形發(fā)生器、電壓或電 流脈沖發(fā)生器、電子18位負載和觸發(fā) 控制器
? 內(nèi)含TSP? Express特征分析軟 件、LabVIEW ?驅(qū)動和吉時利的Test Script Builder軟件開發(fā)環(huán)
? 功率半導(dǎo)體器件特征分析與測試
? GaN、SiC和其它一些復(fù)合材料與器件 的特征分析
? 高達3kV的擊穿與漏流測試
? 亞毫秒瞬態(tài)特征分析
兩種測量模式：數(shù)字式或積分式 利用2657A的兩種測量模式，可以對器件的瞬態(tài)和穩(wěn)態(tài)特性進行精確的特征分析，包括快 速改變熱效應(yīng)。每種模式是由其獨立的模數(shù)（A/D）轉(zhuǎn)換器決定的。
數(shù)字式測量模式能夠?qū)崿F(xiàn)高達1μs的采樣速度。利用其雙18位數(shù)字轉(zhuǎn)換器能夠同時捕獲 電壓和電流瞬態(tài)。在積分式測量模式下，利用其雙22位積分式模數(shù)轉(zhuǎn)換器能夠?qū)崿F(xiàn)更精 確的電壓與電流測量。每種測量模式都使用兩個A/D轉(zhuǎn)換器，一個用于電流，另一個用于 電壓，兩個轉(zhuǎn)換器同時工作可以實現(xiàn)精確的電源讀回，且不影響測試產(chǎn)能。
雙高速A/D轉(zhuǎn)換器能夠?qū)崿F(xiàn)最快每點1μs的采樣速度，支持電壓和電流的全同時特征分析。
通過TSP-Link?技術(shù)，2657A能夠與其它2600A系列儀器連接在一起，構(gòu)成更大的具有最高 32個節(jié)點的集成式系統(tǒng)。內(nèi)置的500ns觸發(fā)控制器能夠確保精確定時與緊密通道同步功 能。利用完全隔離且獨立的數(shù)字源表通道可以進行真正的每pin腳SMU測試。
8010高功率器件測試夾具能夠為高達3000V或100A下帶封裝的高功率器件的測試提供安全和 方便的連接。8010提供的連接支持一個高壓數(shù)字源表（2657A）、一個或兩個高電流數(shù)字源表 （2651A）、三個低功率數(shù)字源表（其它2600A系列或4200-SCS SMU）。利用這一功能，就可以 安全而準確地對雙端（二極管）、三端（晶體管）甚至四端或五端器件進行特征分析。8010具 有全互鎖功能最多可支持六臺數(shù)字源表。8010集成了保護電路，能夠保護低壓數(shù)字源表免受 2657A輸出高壓造成的器件故障。8010內(nèi)含高電流（100A）和高電壓（3000V）測試測試接口。還 有可選的各種備用測試接口，包括TO-247、TO-220、軸心線，以及可以構(gòu)建自定義接口的一個 空接口模塊。除了標準的香蕉跳線，8010還具有背板指示器和熱探針端口，可簡化系統(tǒng)集成。
2每臺2657A都具有其它2600A系列數(shù)字源 表所具有的特性和功能：
? 使用靈活，可用作臺式I-V特征 分析工具，也可以作為多通道I-V 測試系統(tǒng)的組成模塊；
? TSP Express軟件，無需編程或安 裝其它軟件即可快速而方便地執(zhí) 行常用的I-V測試。
? 用于半導(dǎo)體元件特征分析的ACS Basic Edition軟件（可選）。ACS Basic Edition現(xiàn)在提供了“Trace” 模式，可產(chǎn)生一套特征曲線。
? 吉時利的Test Script Processor (TSP)技術(shù)支持創(chuàng)建并運行自定義 的用戶測試腳本，用于實現(xiàn)高速自 動化測試，以及創(chuàng)建使測試儀能夠 在沒有PC直接控制的情況下進行 異步操作的程序序列。
? 當(dāng)系統(tǒng)中多臺2600A系列儀器 連接在一起時，具有并行測試 執(zhí)行和精確定時功能。 ? 兼容LXI Class C。
? 14位數(shù)字I/O線，用于直接連接探針 臺、元件機械手或其它自動化工具。
? USB端口，用于通過USB存儲器保存額 外的數(shù)據(jù)和測試程序。
| 源 | ? 測量 | ||||
| ? 量程 | ? 編程分辨率 | 精度 | ? 顯示分辨率 | 積分ADC精度2 ±(% rdg + V) | 高速ADC精度3 ±(% rdg + V) |
| 200 V | 5 mV | 0.03% + 50 mV | 100 μV | 0.025% + 50 mV | 0.05% + 100 mV |
| 500 V | 10 mV | 0.03% + 125 mV | 100 μV | 0.025% + 100 mV | 0.05% + 200 mV |
| 1500 V | 40 mV | 0.03% + 375 mV | 1 mV | 0.025% + 300 mV | 0.05% + 600 mV |
| 3000 V | 80 mV | 0.03% + 750 mV | 1 mV | 0.025% + 600 mV | 0.05% + 1.2 V |
| 源 | ? 測量 | ||||
| ? 量程 | ? 編程分辨率 | 精度 | ? 顯示分辨率 | 積分ADC精度2 ±(% rdg + A) | 高速ADC精度?3 ±(% rdg + A) |
| 1 nA | 30 fA | 0.1% + 2E–12?+ VoE–15 | 1 fA | 0.1% + 6E–13?+ VoE–15 | 0.2% + 6E–13?+ VoE–15 |
| 10 nA | 300 fA | 0.1% + 5E–12?+ VoE–15 | 10 fA | 0.1% + 5E–12?+ VoE–15 | 0.2% + 5E–12?+ VoE–15 |
| 100 nA | 3 pA | 0.1% + 6E–11?+ VoE–13 | 100 fA | 0.1% + 6E–11?+ VoE–13 | 0.2%+ 6E–11?+ VoE–13 |
1 μA | 30 pA | 0.03% + 700 pA | 1 pA | 0.025% + 400 pA | 0.08% + 800 nA |
| 10 μA | 300 pA | 0.03% +??? 5 nA | 10 pA | 0.025% + 1.5 nA | 0.08% +? 3 nA |
100 μA | 3 nA | 0.03% +?? 60 nA | 100 pA | 0.02 % +?? 25 nA | 0.05% + 50 nA |
| 1 mA | 30 nA | 0.03% + 300 nA | 1 nA | 0.02 % + 200 nA | 0.05%+ 400 nA |
| 2 mA | 60 nA | 0.03% + 1.2 μA | 1 nA | 0.02 % + 500 nA | 0.05% + 1 μA |
| 20 mA | 600 nA | 0.03% +?? 12 μA | 10 nA | 0.02 % +??? 5 μA | 0.05%+ 10 μA |
| 120 mA | 3 μA | 0.03% +?? 36 μA | 100 nA | 0.02 % +?? 24 μA | 0.05%+ 50 μA |
1.對于0°到18°C以及28°到50°C的溫度，精度下降 ±(0.15 × 精度指標) °C。
2. 對于NPLC設(shè)置<1因增加了誤差項而降低了精度指標。對于阻性負載使用下表適當(dāng)增加量程項的百分比。
| NPLC 設(shè)置 | 200V和500V | 1500V和3000V | 100nA | 1μA到120mA |
| 0.1 | 0.01% | 0.01% | 0.01% | 0.01% |
| 0.01 | 0.08% | 0.07% | 0.1 % | 0.05% |
| 0.001 | 0.8 % | 0.6 % | 1? % | 0.5 % |
3.18位ADC。間隔1μs的1000個樣本均值。
4.對于0°到18°C以及28°到50°C的溫度，精度下降 ±(0.35 × 精度指標) °C
典型電壓源噪聲：量程的0.005%。
典型電流源噪聲：量程的0.08%。
典型電壓源設(shè)置：<1ms到200V，<7ms到3000V。
典型電流源設(shè)置：<5ms到120MA，<200ms到1μA。
相關(guān)指標如有改變恕不另行通知。
觸發(fā)：TRIGGER IN到TRIGGER OUT：0.5μs，典型值。
同步：單節(jié)點或多節(jié)點同步源變化：<0.5μs，典型值。
TEST SCRIPT BUILDER: 用于編輯、運行和管理TSP腳本的集成式開發(fā)環(huán)境。
TSP EXPRESS （內(nèi)嵌的）：無需編程或安裝其它軟件即可使用戶快速而方便地執(zhí)行常見I-V測試的工具。
軟件接口：TSP EXPRESS（內(nèi)嵌的）、DIRECT GPIB/VISA、支持VB的讀/寫、VC/C++、 VC#、LABVIEW、TESTPOINT、LABWINDOWS/CVI等。
支持TSP功能的儀器通過TSP-Link擴展接口可以相互觸發(fā)和通信。如下圖所示：
2657A能夠提供或吸收高達3000V@20mA或1500V@120mA的電源
USB：USB 2.1主控制器，支持外部數(shù)據(jù)存儲。
接觸檢查：± 50Ω
PC接口：IEEE-488.1和.2；LXI CLASS C以太網(wǎng)；RS-232。
數(shù)字I/O接口：輸入/輸出腳：14個漏極開路I/O位。最大5.25V。
電源：100V到250V交流，50HZ–60HZ（自動檢測），最大功率550VA。
冷卻：強迫風(fēng)冷。側(cè)面和頂部吸氣，后部排氣。
EMC：符合歐盟EMC指令。
安全性：ETL列出（待確認）。符合歐盟低壓指令。
質(zhì)保期：1年。
尺寸：高89mm × 寬435mm × 深549mm（3.5in × 17.1in × 21.6in）。測試臺配置（帶手柄和腿）：高104mm × 寬483mm × 深620mm（4.1in × 19in × 24.4in）。
重量：9.98KG（22lbs）。
使用環(huán)境：僅適合室內(nèi)使用。
校準周期：一年。
泰克Keithley 2650 系列高功率 SourceMeter? SMU 儀器
